半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個(gè)非常成熟的行業(yè)，當(dāng)我們把計(jì)算機(jī)外，船上的小芯片數(shù)百萬(wàn)顆恒星甚至百萬(wàn)晶體管。為了使這些微小的晶體管工作，生產(chǎn)過(guò)程_在一個(gè)干凈的房間，集成電路制造廠需要數(shù)十億，數(shù)十億的投資，更因?yàn)樾枰粋€(gè)干凈的房間。
所謂的潔凈室是一種人為的環(huán)境，其中包含顆粒通常是好的環(huán)境下，隨著集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，也增加了制造環(huán)境（無(wú)塵室）的清潔度要求的行業(yè)，甚至大小小于1微米的顆粒，也可能阻礙產(chǎn)品操作或減少其使用壽命。
由于納米技術(shù)的興起，半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸的不斷減小，集成電路產(chǎn)品集塵度的增加，更容易失敗或可靠性劣化。例如，當(dāng)金屬粉塵顆粒的金屬線，可使金屬絲形成短路。如果有酸性離子化合物粉塵的金屬絲，有腐蝕性，所以潔凈室專用集成電路制造_的元素。
根據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)[聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209 E（財(cái)政司司長(zhǎng)），1992 ]，可分為六個(gè)等級(jí)的無(wú)塵室。1，10級(jí)，100級(jí)，1000級(jí)，10000級(jí)，1級(jí)，00000級(jí)，如果清潔房間的塵埃粒子數(shù)描述，可以假定一個(gè)塵埃粒子大小0.5？米，例如，1級(jí)，10級(jí)，100級(jí)無(wú)塵室_粒數(shù)小于或等于1，10，100，如果粒子的大小是0.5？米，潔凈室等級(jí)應(yīng)在一個(gè)特定的粒度級(jí)數(shù)表示。例如：100.2？米（粒徑范圍在0.2？米或更大，密度不_過(guò)75/立方？）1年級(jí)，0.1？米（粒徑范圍在0.1？米或更大，密度不_過(guò)35/立方英尺。）。和集成電路制造所需的無(wú)塵室清潔度_達(dá)到1000級(jí)以上。
為保持清潔干凈的房間，和工作人員有_的服裝規(guī)定；10000和100000個(gè)等級(jí)，_穿長(zhǎng)袍，干凈的衣服，干凈的鞋子，帽子和口罩；1000級(jí)（含），都_穿上特殊的清潔連衣，清潔鞋裹體，并戴手套和下表面膜，清潔房間清潔定義。
粒子/立方英尺
系列0.1米0.2米0.3米0.4米0.5米
1357.531/
10350753010/
100/750300100/個(gè)
1000/，//10007
10000/，//1000070
00000/1/、/100000700
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